Banner
首页 > 新闻资讯 > 内容
真空镀膜中的蒸发舟
- 2022-06-22-

  1.蒸发舟使用的材料

  蒸发舟作为真空镀膜的蒸发源,其材料必须耐高温、耐金属溶液腐蚀、抗热震性强、导热并具有一定的机械强度。基于上述要求,通过查阅相关文献,发现作为蒸发舟材料的主要有碳石墨材料和陶瓷材料。

  碳-石墨材料具有以下特点:一,碳材料具有良好的耐高温性和热稳定性,超过真空镀膜所需的温度,因此稳定可靠。其次,碳虽然是非金属材料,但导电性好,电阻低。第三,碳石墨材料热膨胀系数低,抗热震性好,高温使用时尺寸稳定性好,温度变化大时不易破碎。第四,与其他材料相比,碳石墨材料具有良好的化学稳定性。但它是一种多孔材料,孔隙率在10%-30%左右。在镀膜过程中,蒸发舟容易断裂,导致电流无法通过,从而影响生产。

  BN具有较高的热稳定性、化学稳定性和电绝缘性,还具有热导率高、介电性能好、产品易加工、熔点高等特点。与TiB2复合可以提高材料的热导率,获得合适的电阻率和电阻温度系数。BN复合导电陶瓷材料的性能指标如下:

  二、蒸发舟的布置

  主要有直线排列和交错排列两种。采用直线排列时,由于电接触和热传导不良的问题,蒸发舟在加热过程中会在夹片内膨胀移动,容易导致蒸发过程不稳定。通过使用交错的蒸发舟系统,每个蒸发舟的蒸汽云相互支撑,即使在高速镀膜中,仍然可以实现高均匀性。

  三。蒸发舟的温度控制

  控制蒸发舟温度的主要目的是满足铝层厚度的要求,以理想的镀膜速度生产出厚度均匀的铝膜,延长蒸发舟的使用寿命。为了使蒸发的铝量大化,应尽可能使用蒸发舟的整个罐表面。在不同的温度下,铝熔池表面有三种情况。

  首先是蒸发舟内有大的铝熔池,铝在蒸发槽内不会流到蒸发舟末端或超出侧面,所以铝膜的均匀性更好。二是蒸发舟工作温度过高,导致铝熔池减少。在这种情况下,为了维持镀膜速度,这个小区域的铝蒸发速率会增加,蒸发舟的使用寿命也会因为高温而降低,同时镀膜的均匀性变差。第三是蒸发舟温度过低,铝会溢出蒸发槽,导致铝层均匀性变差,甚至出现铝的飞溅。

202203181000156b5db873260e4c15ab3d8dad01dc8f9b


上一条: 无

下一条: 点焊头的两种分类